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中航电测董秘回复:公司授权发明专利“一种间隙光刻机构及其光刻

2024-01-29 12:15字体:
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  中航电测(300114)09月19日在投资者关系平台上答复了投资者关心的问题。

  投资者:董秘您好!请问公司专利“一种间隙光刻机构及其光刻方法”使用的是哪种光源?能否用在芯片制造工艺上?非常感谢!

  中航电测董秘:您好,非常感谢您对公司的关注。公司授权发明专利“一种间隙光刻机构及其光刻方法使用的是紫外光源,应用于应变计光刻。

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